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１、分辨率：
分辨率是扫描仪最重要的性能指标，通常用用每英寸长度上的点数，即dpi(dot per inch)作单位。它直接决定了在扫描时所能到达的精细程度，是衡量一台扫描仪扫描品质的高低的关键指标。扫描仪的分辨率又可分为光学分辨率，插值分辨率和机械分辨率三项指标。
光学分辨率：是扫描仪硬件水平所能达到的实际分辨率是决定扫描仪扫描质量和扫描仪价值的关键指标。所以又称为物理分辨率或真实分辨率。光学分辨率还可细分为水平分辨率和垂直分辨率，例如一台1200*2400dpi的扫描仪（目前的主流光学分辨率）水平分辨率是1200dpi，垂直分辨率是2400dpi。水平分辨率和扫描仪光电耦合器即ccd的真实分辨率以及相关的硬件电路有关，是重中之重；垂直分辨率主要和扫描仪的传动机构精密程度相关。
插值分辨率：这个参数是利用软件对扫描出的图像进行修补计算后的分辨率。又称为最大分辨率。
机械分辨率：则是衡量扫描仪传动机构精密程度的参数，代表扫描头在垂直方向上每移动一英寸，步进电机所走过的最大步数。例如，"600×1200dpi"意味着这台扫描仪的光学分辨率为600dpi，而机械分辨率是1200dpi。
光学分辨率才是真正衡量扫描仪扫描精度的最关键参数。虽然扫描仪的分辨率（特别是光学分辨率）越高，扫描的质量就越好。但是随着分辨率的提高，扫描后的图像生成的文件体积也会急剧增大、扫描速度也要大幅度放缓、机器的价格也相应增大，所以对于广大家庭扫描仪用户来说，合理选择一台分辨率适中的扫描仪尤其重要。从实际应用的情况来看，提高扫描原件的质量，要比单纯的提高扫描仪分辨率来获得高质量的扫描结果有效得多。
２、色彩深度
色彩位数是衡量扫描仪能捕获色彩层次信息的重要技术指标，高色彩位数可得到更多的色彩信息，呈现更加艳丽逼真的色彩还原能力，即使经过一系列的图像处理后，色彩信息有一定损失，也不至于对输出效果产生较大的影响。目前1200dpi扫描仪中大多地采用42位色。此外，扫描仪的动态范围(dynamic range)也值得留意。动态范围也称为密度值，表示扫描仪所允许的色调值范围，即从接近白色到接近黑色的范围。具有较大动态范围的扫描仪可正确捕捉各种色调层次，并直接输出，从而得到更多的图像细节。相应地，一台动态范围较小的扫描仪则无法分辨图像的暗部色调层次，只能牺牲亮部区域的细节，从而导致色调失真。一般来说，扫描仪的动态范围从0.0d到4.0d，大于2.0d的扫描仪扫描效果较好，大于3.0d的扫描仪扫描效果将十分出色。不过需要注意的是，只有在动态范围大于3.0d时，扫描仪才会特别标出。
３、灰度级
这个数值反映了扫描仪扫描时提供由暗到亮层次范围的能力，更具体地说就是扫描仪从纯黑到纯白之间平滑过渡的能力。现在主流扫描仪的这个参数都采用业界的最高标准4096级（12bit）。
４、扫描幅面
平板式扫描仪的幅面一般分为a4、a3和a4加长三种。家庭用户多数会选择a4幅面的机器，a3幅面扫描仪的价格相比a4幅面扫描仪成几何级数增长。
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